FSD100c & 150c是睿勵科學儀器（上海）有限公司專為LED、化合物半導體以及光通訊領域中的有圖形晶圓（COW）的外觀缺陷檢測開發的AOI設備，該系統具有高分辨率、高速、高性價比的特點，可按照客戶的晶圓尺寸，可定制適用于2寸、3寸、4寸、5寸及6寸有圖形晶圓（Chip On Wafer）缺陷檢測。為客戶全面控制產品的出貨品質控制及生產過程中良率改善。
FSD150c系統主要特點:

· 低持有成本、高穩定性和高可靠性的設計
· 可按照客戶需求匹配2寸，3寸、4寸、5寸及6寸晶圓
· 適用于芯片檢測（COW）
· 同時檢測微觀及宏觀缺陷
· 全表面檢測、自動缺陷分類、自動存儲缺陷圖像
· 高分辨率的缺陷復查功能
· 根據檢測結果自動分揀，提高生產效率
· 為管理工藝漂移提供有效手段,為良率管理提供數據
· 支持工廠自動數據傳遞

設備圖片：