新一代的薄膜厚度測量設備，應用范圍覆蓋集成電路制造前后段，適用于代工、存儲以及3D NAND等各個領域，為客戶提供全產線的工藝支持。TFX4000系列產品繼承了公司二代產品TFX3000P的全部優
TFX4000i/TFX4000i UT+新一代的薄膜厚度測量設備，應用范圍覆蓋集成電路制造前后段，適用于40/28/14/7/5nm 前后道，10 nm 級DRAM，3D NAND等制造生產線，為客戶提供更全面的工藝支持。該系列產品繼
TFX3000P是應用于12英寸大規模集成電路前端生產線上的薄膜厚度測量設備，該產品已成功銷售給國內和國外知名眾多集成電路制造公司。該系列設備具有高精度，高產能，高性價比的特點，設備穩定可靠，性能與國外同類設備相當，甚至部分領先。
TFX3000 OCD是睿勵科學儀器（上海）有限公司自主創新開發，具有自主知識產權的集成電路生產線300mm硅片全自動光學關鍵尺寸（OCD）和形貌測量系統。其在TFX3000系統基礎上集成光學關鍵尺寸測量模塊，除具有300mm全自動光學膜厚測量能力外，還可以進行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AE...
TFX3000--300mm全自動精密薄膜測量系統是睿勵科學儀器（上海）有限公司自主研發和生產的具有完全自主知識產權的集成電路生產線工藝檢測設備。本產品的應用范圍包括刻蝕（Etch）、化學氣相沉積（CVD）、光刻（Photolithography）和化學機械拋光（CMP）等工藝段的測量，能準確的確定...
TFX3200是應用于8英寸大規模集成電路前端生產線上的薄膜厚度測量設備，該產品具備與12英寸膜厚測量設備相同的測量性能和設備穩定性。與同類型其他設備相比，產能領先1倍以上，擁有極高的性價比。
FSD100c & 150c是睿勵科學儀器（上海）有限公司專為LED、化合物半導體以及光通訊領域中的有圖形晶圓（COW）的外觀缺陷檢測開發的AOI設備，該系統具有高分辨率、高速、高性價比的特點，可按照客戶的晶圓尺寸，可定制適用于2寸、3寸、4寸、5寸及6寸有圖形晶圓（Chip On Wafer）缺陷...
FSD150s是睿勵科學儀器（上海）有限公司專為LED襯底拋光片外觀缺陷檢測開發生產的全自動光學檢測設備（AOI），適用于藍寶石襯底片（拋光片）表面缺陷檢測。為LED襯底片廠家全面控制產品的出貨品質及改善生產過程中良率。
FSD150e & FSD150i是睿勵科學儀器（上海）有限公司專為LED市場開發生產的全自動光學檢測設備（AOI），適用于藍寶石圖形襯底（PSS）晶圓生產工藝中的表面缺陷檢測以及外延片檢測。該系統具有高分辨率、高速、高性價比的特點，并能根據檢測結果進行自動分揀。既能為LED生產廠商提高生產效率，又...
FSD300自動宏觀缺陷檢測系統簡介睿勵微電子設備(上海)有限公司生產的自動宏觀缺陷檢測系統（FSD300），具有快速，準確，可靠和低成本等優點，可用于工藝及產品質量檢測，從而提高硅片制造的良率和品質。
FSD200μ自動宏觀缺陷檢測系統簡介睿勵微電子設備(上海)有限公司生產的自動宏觀缺陷檢測系統（FSD200u），具有快速，準確，可靠和低成本等優點，可用于工藝及產品質量檢測，從而提高硅片制造的良率和品質。
FSD100e是睿勵微電子設備(上海)有限公司專為LED市場開發生產的自動光學檢測設備（AOI），適用于藍寶石襯底、圖形襯底、外延片和芯片等各種工藝。該系統具有高分辨率、高速、高性價比的特點，并能根據檢測結果進行自動分揀。既能為LED生產廠商提高生產效率，又可為進行全面良率管理提供數據。FSD100...
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